臺式實時能譜掃描電鏡集高分辨成像與元素成分分析于一體，憑借體積小巧、操作簡便、無需復雜樣品制備等優勢，已廣泛應用于材料科學、電子元器件、地質礦產、生物醫學及質量控制等領域。其核心價值在于將微觀形貌觀察與元素分布分析同步完成，實現所見即所測。
臺式實時能譜掃描電鏡性能高度依賴各功能模塊的精密集成，深入理解其組成部件的功能特點，是發揮設備效能的關鍵。
一、電子光學系統
電子槍：多采用鎢燈絲或六硼化鑭（LaB2）源，提供穩定電子束，分辨率可達5–10nm；
電磁透鏡與掃描線圈：聚焦并偏轉電子束，在樣品表面形成raster掃描，束斑越小，圖像越清晰；
可變加速電壓（通常0.5–30kV）：低電壓減少荷電效應，適合非導電樣品；高電壓提升信號強度，適用于金屬或厚樣品。
二、樣品室與載物臺
緊湊型真空腔室：抽真空時間短（＜3分鐘），兼容多種樣品尺寸（通常≤70mm直徑）；
三軸或五軸電動載物臺：精準定位感興趣區域，支持自動拼圖與多點分析；
防撞設計：配備距離傳感器，防止探頭與樣品碰撞。
三、探測器系統
二次電子探測器（SE）：捕捉表面形貌細節，圖像立體感強；
背散射電子探測器（BSE）：對原子序數敏感，可區分不同成分區域（亮暗對比）；
實時能譜儀（EDS）：集成硅漂移探測器（SDD），可在數秒內完成元素定性與半定量分析（檢測范圍Be–U，精度±1–2%）。
四、真空與控制系統
無油分子泵+隔膜泵組合：避免油污染，維護簡便，適合實驗室環境；
智能真空管理：自動監測氣壓，異常時報警保護；
一鍵式操作軟件：集成圖像采集、元素面掃（Mapping）、線掃（LineScan）及定量報告生成。
更新時間：2025-12-09 
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